Увеличение производительности установки “Время” за счет увеличения объема камеры и модернизации приводов вращения и перемещения

Восточноукраинский национальный университет имени Владимира Даля
Кафедра Естественных наук
Дипломный проект по дисциплине "Оборудования электронной промышленности"
На тему: "Увеличение производительности установки “Время” за счет увеличения объема камеры и модернизации приводов вращения и перемещения"
Луганск 2014

В данной бакалаврской работе выполнена задача увеличения производительности установки «Время» для осаждения тонких плёнок тугоплавких металлов методом пиролитического разложения карбониллов соответствующих металлов, а именно увеличение размеров подложек и соответственно габаритов камеры. Вследствие увеличения массы камеры был проведен перерасчет привода вращения и перемещения подставки и выбраны более мощные двигатели.

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ………………………………………………………………………....6
1 Технологические процессы осаждения тонких плёнок………………………...8
1.1 Эпитаксия…………………………………………………………………8
1.2 Химическая кинетика…………………………………………………...13
1.3 Оборудование для наращивания эпитаксиальных слоёв……………..14
2 Описание конструкции и работы установки “Время”…………………….…..21
2.1 Назначение установки…………………………………………..……….21
2.2 Технические данные…………………………………………….………21
2.3 Устройство и работа установки……………………………………….24
2.4 Устройство и работа составных частей установки………………….25
2.5 Размещение и монтаж…………………………………………………...36
3 Модернизация установки………………………………………………………..37
3.1 Анализ кинематики установки………………………………………....37
3.2 Кинематический и силовой расчет привода вращения..……………...38
3.3 Расчет и проектирование червячных передач в системе APM WinMachine…………………………………………………………………..39
3.4 Расчет валов в системе APM WinMachine модуль Shaft…………...…43
3.5 Расчет подшипников в системе APM WinMachine модуль Bear……..58
3.6 Кинематический и силовой расчет привода перемещения…………...76
3.7 Расчет и проектирование червячных передач в системе
APM WinMachine…………………………………………………………….78
4 Безопасность и экологичность проекта ………………………………………...80
ЗАКЛЮЧЕНИЕ…………………………………………………………………….89
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАНЫХ ИСТОЧНИКОВ…………………………….......90
ПРИЛОЖЕНИЯ…………………………………………………………….………92
ВЕДОМОСТЬ ПРОЕКТА……………………………………………………...…105