Белорусский государственный технологический университет
Кафедра материалов электронной техники
Курсовой проект по дисциплине "технология жидкокристаллических изделий"
На тему: "усовершенствование технологии формирования металлизационных покрытий в производстве полевых транзисторов с изолированным затвором.
Исходные данные Маршрут изготовления интегральной схемы (указан в ПЗ)
Содержание
Введение
1 Литературный обзор
1.1 Требования к жидкостному травлению металлизационных покрытий
1.2 Характеристика пленок алюминия
1.3 Трафаретное травление метализационных алюминиевых покрытий
2 Инженерные решения
3 Технологический раздел
3.1 Описание фрагмента технологического маршрута формирования тран-тора на этапе травления металлизации
3.2 Физико-химические основы процесса жидкофазного трафаретного трав-ления пленок Al+1%Si в производстве MOSFET - транзисторов
3.3 Характеристика оборудования для проведения жидкофазного травления металлизации
3.4 Инженерно-технологические расчёты для процесса травления метал-лизации операция номер 21
3.5 Расчет коэффициента загрузки оборудования и количества установок
3.6 Расчет норм расхода компонентов
4 Контроль качества и метрология обеспечение технологии
5 Мероприятия по охране окружающей среды
Заключение
Список использованных источников
