Разработка конструкции вакуумно-дугового испарителя с составным катодом (Ti-ый катод, диаметром 76 мм)

МГТУ им. Н. Э. Баумана
Кафедра:"Высокотехнологичные плазменные и энергетические установки"
Дипломный проект по теме:"Разработка конструкции вакуумно-дугового испарителя с составным катодом"
Москва 2020

Исходные данные вакуумно-дуговой испаритель с составным катодом диаметром 76 мм: ток разряда 100 А; напряжение разряда 15 В; рабочее давление 10^(-3) Па; рабочие газы:N2, Ar; материалы катода: Ti, Cr, Cu

В данной работе рассмотрен вакуумно-дуговой испаритель с составным катодом. Основание катода имеет непосредственное охлаждение водой. Проведен тепловой расчет системы охлаждения, так же проведен расчет магнитной системы.
Графическая часть работы содержит сборочные чертежи на вакуумно-дуговой испаритель, составной катод, составную нейтральную вставку; рабочие чертежи на детали составного катода и составной нейтральной вставки, а так же на анодный фланец, фланец поджига, крышку охлаждения; вакуумную и гидравлическую схемы; листы с тепловым расчетом, магнитным расчетом, экспериментом

РЕФЕРАТ
ВВЕДЕНИЕ
1 Метод вакуумно-дугового испарения
1.1 Теория вакуумно-дугового разряда
1.2 Описание конструкции вакуумно-дугового испарителя
2 Расчет теплового состояния конструкции
2.1 Расчет параметров системы охлаждения
2.2 Расчет контактного термосопротивления
2.3 Задание расчетной модели в Ansys workbench
2.4 Результаты расчета составного катода
3 Расчет магнитной системы
3.1 Задание расчетной модели в Comsol Multiphysics
3.2 Результаты расчета магнитного поля
4 Экспериментальная часть
4.1 Оборудование и методика эксперимента
4.2 Экспериментальные данные
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ
ПРИЛОЖЕНИЕ А