Установка ионно-лучевого распыления Veeco Specto

Автоматизированная установка Veeco Spector (в дальнейшем - установка) предназначена для нанесения оптических покрытий на различные образцы.
Установка снабжена SCADA- системой и может использоваться как в лабораторных условиях, так и для промышленного применения в составе единой центральной системы управления производством.
Установка состоит из следующих функциональных агрегатов:
• Вакуумная камера с технологическим оборудованием;
• SCADA система;
• Вакуумная система откачки;
• Блок контроллеров;
• Электрический щит;
• Газовая система;
• Система охлаждения

Технические характеристики:
Предельный вакуум 1.8*10 Торр
Рабочий вакуум безмасляный
Максимальная температура прогрева камеры 275 С
Расход воды холодной 16,7 л/мин горячей 3,75 л/мин
Давление сжатого воздуха 8 атм
Максимальный расход аргона 50 ст. см /мин
Напряжение питания ~208В±7%, 3 фазы, 60 Гц, 120 А
Масса установки2 000 кг