Модернизация электропривода формовочной машины "DANNER" фирмы OLIVOTTO

Полтавский национальный технический университет имени Юрия Кондратюка
Кафедра автоматики и электропривода
Магистерская работа
На тему: Модернизация электропривода формовочной машины
"DANNER" фирмы OLIVOTTO
Полтава 2017

Целью работы является создание регулируемого электропривода управления подъемника стола масок для изготовления микросхем с применением шагового двигателя, что повышает производительность и качество продукции. Шаговый электропривод широко применяется в современных автоматизированных системах, а также как элемент удачно сочетается с ЭВМ. Системы с шаговым приводом при дискретном управления от ЭВМ более компактные, надежные и точны.
Объем магистерской работы составляет 95 стр. печатного текста, который включает введение, 5 глав, заключение, список литературы из 32 источников и приложения.
ВСТУП 7
1 Технологічна частина 9
1.1 Опис технологічного процесу виробництва інтегральних мікросхем 9
1.2 Огляд існуючих установок вакуумного нанесення тонких плівок 17
1.3 Принцип роботи восьмипозиційної вакуумної установки для
виробництва гібридних інтегральних мікросхем 20
1.4 Вибір системи електропривода установки для виробництва ІМС 23
2 Розробка системи механічної частини електропривода
стола масок 24
2.1 Розрахунок кінематичної передачі підйомника стола масок 24
2.1.1 Розрахунок передаточного числа червячної передачі 24
2.1.2 Розрахунок статичного навантаження червячної передачі 25
2.1.3 Проектний розрахунок червячної передачі 28
2.1.4 Розрахунок параметрів червячної передачі 30
2.1.5 Розрахунок ККД червячної передачі 32
2.2 Розрахунок навантажень електропривода підйомника стола масок 32
2.2.1 Розрахунок статичних навантажень на валу електродвигуна 32
2.2.2 Розрахунок динамічних навантажень на валу електропривода 33
2.3 Вибір електродвигунів стола масок 37
3 Розроблення системи автоматизованого керування електроприводом
стола масок 39
3.1 Розроблення функціональної схеми керування електроприводом
стола 39
3.2 Розробка принципової схеми керування електроприводом стола
масок 43
3.3 Розрахунок принципової схеми електропривода стола масок 46
3.3.1 Розрахунок силового транзисторного ключа 46
3.3.2 Розрахунок генератора прямокутних імпульсів 49
3.3.3 Розрахунок формувача імпульсів 51
3.3.4 Розрахунок блока живлення 52
3.3.5 Вибір силового трансформатора 60
3.4 Синтез системи автоматичного керування електроприводом стола
масок 62
3.4.1 Визначення передаточної функції системи автоматичного
керування 62
3.4.2 Визначення стійкості системи автоматичного керування за
критерієм Михайлова 65
3.4.3 Розрахунок та побудова логарифмічних амплітудо-частотної ЛАЧХ
та фазо-частотної ЛФЧХ характеристик системи автоматичного керування
САК 66
3.4.4 Розрахунок перехідних процесів у системі автоматичного
керування електроприводом стола масок 68
4 Науково-дослідна частина
електропривода підйомника стола масок 71
5 Розрахунок економічної ефективності 81
5.1 Визначення витрат на модернізацію привода стола 81
5.1.1 Визначення витрат на придбання комплектуючих 81
5.1.2 Розрахунок заробітної плати з нарахуваннями 82
5.1.3 Визначення загальної суми витрат на модернізацію 82
5.2 Розрахунок річного фонду часу роботи устаткування та річної
експлуатаційної продуктивності 83
5.3 Визначення поточних витрат у процесі експлуатації стола 85
5.3.1 Розрахунок заробітної плати з нарахуваннями 85
5.3.2 Визначення витрат на технічне обслуговування та ремонт верстату85
5.3.3. Визначення витрат на електроенергію 87
5.3.4 Розрахунок загальної суми річних витрат 87
5.3.5 Розрахунок вартості машино – години роботи електропривода
подачі 88
5.3.6 Розрахунок вартості технологічної операції для одиниці продукції88
5.4 Визначення економічного ефекту від проведення модернізації 88
Висновки 91
Список використаної літератури 93
Додатки