Восточноукраинский национальный университет имени В. И. Даля
Кафедра: Микро- и наноэлектроники
выпускная квалификационная работа бакалавра
На тему: «Модернизация привода перемещения нижнего штока установки ”Кристалл-2”»
Луганск 2016 г
Базовая установка “ Кристалл-2”
Техническое описание и инструкция по эксплуатации установки “Кристалл-2”
Установка предназначена для выращивания монокристаллов ниобата лития по методу Чохральского диаметром до 130 мм
Диапазон регулирования рабочей скорости перемещения не менее, мм/мин - (0,5 ... 20) ±10%
Диапазон регулирования частоты вращения не менее, (об/мин) – 5...25
Скорость ускоренного перемещения нижнего штока, мм/мин –230 ± 20
Содержание пояснительной записки
ВВЕДЕНИЕ:
Актуальность темы
Цели и задачи решаемые в работе
Наименование и содержание разделов:
1. Методы выращивания кристаллов
2. Выбор условий выращивания кристаллов
3. Описание конструкции и техническая характеристика установки выращи-вания кристаллов “Кристалл-2”
4. Модернизация привода подъёма нижнего штока
5. Охрана труда
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
Краткие выводы по работе
Результаты модернизации и их оценка
Перечень графического материала:
1. Общий вид установки “Кристалл-2”
2. Привод перемещения нижнего штока
3. Червячный редуктор
4. Кинематическая схема привода
перемещения нижнего штока установки "Кристалл-2"
