Калужский филиал Московского государственного технического университета им. Н.Э.Баумана
Кафедра твердотельной микроэлектроники
Дипломный проект по дисциплине "Наноэлектроника"
На тему: "Интегральная микросхема 140УД14"
Калуга 2015
В данной работе кратко описана природа шумов. Генерационно- рекомбинационный шум-основной шум влияющий на работу приборов в рабочей частоте для интегральных микросхем. Описано геттерирование примесями фосфора, как метод улучшения характеристик приборов.
Представлен механизм геттерирования вредных примесей при ионном внедрении. Описана программа экспериментальной части работы, маршрут, по которому изготавливаются пробные партии.
Предложен технологический маршрут производства изделия, выбран оптимальный вариант уменьшения уровня шума, увеличено качество выпускаемых изделий.
Графическая часть содержит электрическую схему операционного усилителя; параметры структуры, размеры и электрические параметры ИС140УД14; основные параметры операционного усилителя в трёх листах; технологический маршрут в двух листах; графики отбраковки; отход схем в брак; структуры МОП транзисторов.
Содержание:
Аннотация
Введение
1. Природа шумов
2. Процессы создания интегральной микросхемы
3. Геттерирование вредных примесей
4. Практическая часть
5. Организационно-экономическая часть
6. Охрана труда и защита окружающей среды
Заключение и выводы
Список литературы
