Испытания вакуумных систем среднего и высокого вакуума на наличие течи. Выбор насосов, манометров и средств течеискателей - рабочее давление P=8*10-7 Па

Белорусский национальный технический университет
Кафедра: «Вакуумная и компрессорная техника»
Курсовой проект по дисциплине: "Вакуумная и компрессорная техника"
На тему: "Испытания вакуумных систем среднего и высокого вакуума на наличие течи. Вы-бор насосов, манометров и средств течеискателей"
Минск 2016

Исходные данные:
Вакуумная схема;
Суммарные газонатекания и газовыделения Q=2,5*10-5 м3*Па/с.
Рабочее давление P=8*10-7 Па.
δ=0,3мм; h=2,3 мм; l=4мм.

В данной курсовой выбираются насосы для высоковакуумной системы. Также выбираются преобразователи и вакуумметры и описан галогенный и масс-спектрометрический метод течеискания

Содержание:
ВВЕДЕНИЕ
1. История развития вакуумной техники.
1.1 Применение вакуума в науке и технике.
2. Методика расчета вакуумной системы.
2.1. Выбор высоковакуумного насоса.
2.2. Выбор механического насоса.
2. Выбор манометров
2.1 Выбор манометра для высоковакуумного насоса
2.2 Выбор манометров для механического насоса
3. Испытание высоковакуумного насоса.
4. Расчёт натекания в вакуумную систему
5. Методы течеискания
Масс-спектрометрический метод
6. Описание технологий течеискания с помощью выбранного течеискателя
Заключение
Литература